
به گفته منابع، محققان چینی اوایل ۲۰۲۵ نمونه اولیه عملیاتی لیتوگرافی فرابنفش فرین (EUV) را تکمیل کردند
طبق گفته منابع، با این حال، این دستگاه هنوز تراشههای عملیاتی تولید نکرده و در حال آزمایش است دولت چین هدفگذاری کرده است که تا سال ۲۰۲۸ تراشههای عملیاتی تولید

























